化合物抛光

 

 

 本实验室主要针对蓝宝石、碳化硅、光学玻璃、钽酸锂、氟化钙等化合物材料所面临的表面超精抛光技术瓶颈开展研究，研究开发相关的抛光技术及高端抛光液。