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  深圳清华大学研究院微纳工程重点实验室(以下简称微纳实验室)于2004年成立,是深圳清华大学研究院与清华大学摩擦学国家重点实验室共建的重点研究机构,是摩擦学国家重点实验室在深圳设立的分研究室(深圳微纳工程研究室)。

    微纳实验室主要从事微纳制造及纳米摩擦学跨学科研究,主要研究开发方向为面向计算机硬盘盘基片、磁头、集成电路芯片、半导体晶片、LED衬底晶片、光纤连接器、宝石、光学玻璃、金属材料等领域的超精表面抛光技术工艺及抛光液等产品;微纳实验室还致力于超精加工、电池材料、润滑材料等领域微米、纳米级颗粒的研究开发,如氧化硅、氧化铝、氧化铈、磷酸铁锂、金属等颗粒的制备、分散、改性等。

    微纳实验室自成立以来,承担了多项国家和省部级科研项目,包括国家重点基础研究发展规划(973)项目、国家十一五科技重大专项项目、国家自然科学基金委—广东联合基金重点项目、科技部国际科技合作项目 、国家自然科学基金项目、国家863重点项目等。

地址:深圳高新技术产业园南区深圳清华大学研究院C区708室 电话:0755 - 2695 7638 传真:0755 - 2695 7008 粤ICP备07000681号-2