计划类别

项目名称

项目编号

1

国家自然科学基金委—广东联合基金重点项目

类球形有机大分子抛光液设计及其原子级抛光机理

U0635002

2

国家杰出青年科学基金

极大规模集成电路铜互连平坦化新原理及其应用研究

50825501

3

国家自然科学基金项目

化学机械组合作用功能粒子及其超精抛光机理研究

50775122

4

国家973计划

高性能电子产品设计制造精微化、数字化新原理和新方法

2003CB716201

5

科技部国际科技合作项目

原子级光滑表面抛光研究

2006DFA73350

6

科技部国际科技合作项目

高水基润滑新材料及润滑机理研究

2008DFA51190

7

科技部国际科技合作项目

面向45nm以下线宽集成电路平坦化新技术研究

2007DFB70130

8

国家863计划重点项目课题

高亮度LED晶片表面纳米级抛光工艺及设备

2009AA043101

9

国家科技重大专项

“65nm－45nm 铜互连无应力抛光设备研发”

2008ZX02104-001

10

国家科技重大专项

“90-65nm集成电路关键抛光液研究与产业化”

2009ZX02030-002

11

国家重点实验室自主研究重点项目

芯片制造中平坦化关键技术及其应用研究

SKLT08A04

12

国家重点实验室建设

国家重点实验室建设与运行经费

13

国家重点实验室开放基金

先进电子制造中超纯纳米SiO₂粒子研制及抛光性能研究

SKLTKF08A03

14

广东省自然基金重点项目

电子制造中功能有机大分子粒子超精抛光研究

8251805701000001